ニュースミニ

半導体の作り方(2013年5月8日配信)

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再生時間:3分

制作年度:2013年

概要

私たちの暮らしに欠かせないものになっている半導体。ひとつの半導体素子の中には、100万から1,000万の回路が集積されており、ひとつの回路のサイズはなんと32ナノメートル(10億分の32メートル)という、途方もない小ささです。その回路を作るための技術が「リソグラフィ」です。石版画を意味する「リトグラフ」を由来とする名前を持つこの技術は、どのようなものなのでしょうか?まず、半導体の材料となる、シリコンでできた板「シリコンウェハー」に、紫外線に反応する樹脂「レジスト」を塗ります。その上に、回路の形を型取ったマスクを設置し、それを通して紫外線を当てていきます。この際、位置を少しずつずらしながら、ピンポイントで紫外線を当てていきます。それを現像すると、紫外線の当たった部分はシリコンが溶け、当たらなかった部分はシリコンが残り、回路になるのです。こうした技術は、日本が最先端です。低迷が叫ばれる日本のエレクトロニクス産業の、突破口を拓く糸口になるかもしれません。

出演者名・所属機関名および協力機関名

関口淳(リソテックジャパン株式会社)